SJ6000國產激光干涉儀產品采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術,實現各種參數的高精度測量
中圖儀器激光干涉儀采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術,實現各種參數的高精度測量。
SJ6000機床激光干涉儀產品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術,實現各種參數的高精度測量
SJ6000數控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000國產激光干涉儀測量系統(tǒng)非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
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