SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000激光干涉測量儀在數(shù)控機(jī)床精度測量方面,豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測量需求而選擇,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。
中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高,扛擾力強(qiáng),降低了對環(huán)境條件的要求,空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微,因此使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室,還可在車間條件下測量大距離用。
中圖儀器SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;也可以實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。
中圖儀器激光平面干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn),不僅能用于實(shí)驗(yàn)室,還可在車間條件下測量大距離用。
中圖儀器SJ6000自制激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。
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