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中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維形貌測量儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1白光光學(xué)干涉儀品牌采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計，可實現(xiàn)高測量精度重復(fù)性和高粗糙度RMS重復(fù)性。采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高.

SuperViewW1白光干涉儀半導(dǎo)體測量儀器具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW系列3d白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，是一款用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的納米級測量儀器。

SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1三維白光干涉儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，高精度測量；隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性。