簡要描述:SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個(gè)交流測試系統(tǒng),當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí),其頻率不會受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強(qiáng),精度高,測量結(jié)果可靠,在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
---|---|---|---|
加工定制 | 否 |
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個(gè)交流測試系統(tǒng),當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí),其頻率不會受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強(qiáng),精度高,測量結(jié)果可靠,在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
1.數(shù)控機(jī)床的線性測量;
2.線性模組的定位精度測量;
3.實(shí)驗(yàn)室作為長度基準(zhǔn);
4.數(shù)控機(jī)床傾斜軸的線性測量;
5.小角度測量;
6.直驅(qū)電機(jī)的角度測量;
7.直線導(dǎo)軌的平行度測量;
8.設(shè)備直線度測量;
9.大理石平臺的平面度測量;
10.三坐標(biāo)的垂直度測量;
11.設(shè)備導(dǎo)軌垂直度測量;
12.雙軸測量。
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好
①使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm);
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達(dá)nm級;
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達(dá)到4m/s;
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度;
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì),避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。
應(yīng)用范圍廣
①SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測;
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析;
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù),進(jìn)行動態(tài)特性分析。
產(chǎn)品咨詢
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號了解更多信息
微信掃一掃