激光干涉儀是一種高精度、高測量范圍的測長儀,由于其優(yōu)良的性能,被廣泛地應(yīng)用于多種場合,特別是對長、大位移的測量。對于長度的測量,一般200米以上的測量都是一般的長度測量,3m以下的長度測量是3m,3~200m的測量稱為大尺寸測量。在一般長度測量中,被廣泛使用??稍谑覂?nèi)進行恒溫、恒濕、防震的量塊、標尺、標尺、坐標測量儀等。還可在普通車間對大型機床進行標定,既能測量幾十米長,又能測量手表零件等微小運動,不僅能測量長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何尺寸。是科學研究、光刻機、數(shù)控機床、艦船等行業(yè)都離不開的光學尺子,用于測量零部件的尺寸,角度,位置,直線性,也是檢定各類數(shù)控機床、激光加工機床以及光刻機臺的精度,進行誤差補償?shù)幕緝x器。
隨著智能制造技術(shù)的發(fā)展,檢測已經(jīng)成為生產(chǎn)過程中越來越重要的一部分,位移檢測是檢測手段之一。一般來說,設(shè)備的檢測精度應(yīng)達到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工,其檢測精度至少應(yīng)小于1微米,因此激光干涉儀已經(jīng)成為智能制造設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。
但是,由于激光測量系統(tǒng)測量時與一般的自準直儀不同,下面就來具體介紹下調(diào)整方法:
1.調(diào)光束平行于被測軌道。
(1)將反射鏡座和分光鏡座放置在被測軌道上,分光鏡的高度放置在可調(diào)節(jié)范圍的中間,調(diào)整高度,雷射頭與反射鏡、分光鏡大致保持在同一高度。
(2)激光頭的左右擺動是根據(jù)反射鏡上光點在Y方向的偏移來調(diào)節(jié)的。在Y方向的鏡面上,光點不會偏移。
2.調(diào)節(jié)鏡子和反射鏡的鏡面垂直于激光束。
(1)調(diào)整反射鏡的高度,使激光頭上孔發(fā)出的光束反射后全部返回雷射頭(孔內(nèi)指示燈亮);
(2)放置分光鏡,覆蓋反射鏡,調(diào)整分光鏡的高度,使激光頭上孔發(fā)出的光束通過分光鏡后全部返回(指示燈亮);
以上就是小編為大家介紹的激光干涉儀的相關(guān)內(nèi)容,希望對大家能有所幫助。